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                高分辨率硅片缺陷檢測系統

                高分辨率硅片缺陷檢測系統
                • 參數功能
                • 技術優勢
                • 應用場景

                自動聚焦3~30ms

                綜合漏檢率低于10%

                綜合錯檢率低于3%

                綜合光學放大率20~240pix/mm 可調

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